潔凈度級別 |
塵粒最大允許數/立方米 ≥0.5μm塵粒數 |
≥5μm塵粒數 |
微生物最大允許數 浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
100級 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
10,000級 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000級 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000級 |
10,500,000 |
60,000 |
1000 |
15 |
ISO14644-1(國際標準)
空氣潔凈 度等級(N) |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(空氣粒子數個/立方米) |
|||||
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
|
ISO Class1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平 |